三个问题:易,这将不可避免地增加新风量,并增加冷却能力和新鲜空气的输送能力。显然,MAU FFU DC系统失去了它的一个优点。其次,洁净室中的压力差过大也会影响门的开启,一般设定为小于50Pa。*三,如果在洁净区域有几个不同等级的洁净区域,根据上述情况,大多数二级相对非洁净区域的压差应保持在45Pa,其他高区域应增加5Pa。根据规范。 。显然,这使得yi和ii的问题更加严重。因此,在下面的计算和分析中,ffu净化单元设备,作者没有考虑从洁净室的相对压力差来设定干燥线圈风阻。在实际工程中没有遇到这种做法,但这可以作为一种保留手段,值得设计师考虑。
MAU FFU DC系统是Make-upAirUnit风扇过滤器单元(FanFilterUnit)Drycoil系统。较常见的形式如图1所示。由于其温度分区控制,布局灵活,ffu净化单元,FFU负压密封,节省回风输送能量,非常适用于热湿比大(大热)的电子车间负载小散热),ffu净化单元厂家,回风量大,面积大。因此,净化的特性被广泛用于电子洁净室的设计中。在实际的设计和工程安装过程中,作者已经非常了解这些系统。结果发现,许多类似的项目目前在设计项目中缺乏明确的基础,数据被用作参考(规范没有详细的规定和要求),甚至存在很多项目。与常态相矛盾。
基于以上思路,我们将从理论上计算FFU静压罐在不同压力下FFU的理论使用寿命。 FFU的使用寿命,即FFU中的高效过滤器寿命,可以通过以下公式计算:其中:T是过滤器寿命,d; P是过滤灰尘,量g; N1是过滤器前的空气粉尘浓度,mg/m3; Q是过滤器的风量,m3/h; t是过滤器一天的工作时间,h; η是计算滤波器的加权效率。式中:N1=M(1-S)(1-ηn)NrS(1-ηr)(2)式中:M是大气尘埃浓度,mg/m3; S是循环风的比例; Nr为回风浓度,对于浓度较高的100,000级洁净室,其浓度不**过0.001 mg/m3~0.01 mg/m3; ηn是过滤器前新风路径上的过滤器称重效率; ηr是过滤器之前的返回空气路径重量上的过滤器是有效的。